AEHR Test Systemsは米国カリフォルニア州に拠点を置くBurn In Test Systemの老舗です。
Silicon Photonics ,SiC, SiNの市場拡大に伴うWafer Level Burin In需要に向けてそのソリューションを提供しています。
現在はFOX シリーズが主力です。

主な特徴

1. Blade Technology
   Wafer又はSlice後の DieチップをChuckに実装する為のメカ機構及び電気テストを行う為のChannel Module を１パックにしたModule機構。
   Probe Cardも自社提供しOne Touch down Testを実現。
2. 下記3種類の電気テストModuleをBladeあたり最大8枚まで組み込可能
   256 I/O Channel UCCM (Universal Channel Module)
   Including 100 ns Min. Cycle, 32Mb Pattern Memory/ 32Mb Capture Memory
   128 Channel HVPCM (High Voltage Power Channel Module)
   128 Channel HCCM (High Current Channel Module)
3. For Engineering or pre-production
   FOX-CP : Wafer Stepping 構造
    Wafer 1枚単位で処理 (Prober 機構内蔵)
   FOX-NP: Blade２セット構造
    最大２枚のWaferを一括コンタクトで並列処理
   For volume production
    FOX-XP： Blade Technologyを利用して最大18 Blade (18枚のWafer)を並列処理