Partner Product / Failure Analysis Tools

半導体故障解析用研磨・エッチングツール

半導体デバイスの故障解析・不具合解析に使用する研磨・エッチング前処理装置をご提案します。

Partner

パートナー企業紹介

三友製作所について

株式会社三友製作所（SUNYOU）は、茨城県常陸太田市に本社を置くモノづくり企業です。半導体故障解析用ツール、プラズマエッチング装置、電子顕微鏡用アクセサリーの開発・製造を主力事業とし、設計から機械加工、組立まで一貫した製造体制を持っています。

ATEサービス株式会社では、三友製作所の半導体故障解析用製品について、製品の紹介・選定・導入に関するご相談を承ります。最新の製品情報については三友製作所の公式サイトをご確認ください。

Lineup

製品ラインナップ

三友製作所が展開する半導体故障解析向け製品の主なラインナップです。詳細仕様については三友製作所公式サイトをご確認ください。

半導体デバイス局所研磨機

デバイス表面を局所的に研磨し、故障箇所を精度よく露出させるための前処理装置です。

卓上精密研磨装置

半導体デバイスの断面観察やTEM試料作製などに対応する卓上型の精密研磨装置です。

卓上プラズマエッチング装置

デバイス表面の有機物除去や試料前処理に用いる小型のプラズマエッチング装置です。

ミニマルマイクロプラズマエッチング装置

局所領域に特化した世界初の加工法を採用したマイクロプラズマエッチング装置です。

ナノマニピュレーションステージ

電子顕微鏡内でのナノスケール操作を可能にするマニピュレーションステージです。

特殊TEMホルダー / 電子顕微鏡用サブステージ

透過型電子顕微鏡（TEM）での観察を拡張するホルダーおよびサブステージ製品です。

Use Cases

主な用途

半導体デバイスの故障解析

不良品の故障箇所を特定するための前処理（研磨・エッチング）と断面観察を支援します。

TEM・SEM試料作製

透過型電子顕微鏡（TEM）や走査型電子顕微鏡（SEM）用の試料前処理を支援します。

不具合原因の調査・解析

製造工程における不具合デバイスの断面解析、異物・クラック観察などに活用できます。

研究・開発段階での評価

新規デバイスの構造評価、プロセス確認、材料解析などの研究開発用途にも対応します。